檢(jian)測(ce)項(xiang)目(mu)

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項(xiang)目(mu)名(míng)稱	檢(jian)測(ce)設(shè)備(bei)	設(shè)備(bei)型号
深度濃度分(fēn)析	二次離子(zi)質(zhi)譜儀	IMS 7f-Auto
AFM形貌/表面粗糙度	原子(zi)力(li)顯微鏡	Dimension EDGE
多(duo)晶粉末物(wù)相定性分(fēn)析	X 射線(xiàn)衍射儀	SmartLab3KW（HRXRD）
薄膜掠入射
高(gao)分(fēn)辨标準2θ/ω掃描
搖擺曲線(xiàn)掃描
反射率測(ce)試
倒易空間
PHI掃描
極圖
拉曼光譜	顯微拉曼光譜儀	RMS 1000
原位拉曼（77-500K）
微區(qu)mapping
噴金	冷場(chang)掃描電(dian)子(zi)顯微鏡	Regulus8230
表面形貌
表面元素分(fēn)析
陰極熒光圖譜/微區(qu)Mapping
室溫：電(dian)阻率/霍爾遷移率/載流子(zi)濃度/霍爾係(xi)數(shu)	霍爾測(ce)試儀	HS-65-AEM
低溫（77K）：電(dian)阻率/霍爾遷移率/載流子(zi)濃度/霍爾係(xi)數(shu)	霍爾測(ce)試儀	HS-65-AEM
變溫（3-300K）熒光圖譜	深紫外變溫光譜檢(jian)測(ce)係(xi)統	HRS-500MS
液體(ti)/粉末/薄膜樣品(pin)：吸(xi)光度/反射率/透射率	分(fēn)光光度計(ji) （紫外可(kě)見近紅(hong)外）	UH4150
穩态熒光：髮(fa)射譜/激髮(fa)譜/同步熒光/三維(wei)熒光	穩态瞬态熒光光譜	FLS1000
瞬态光譜：熒光壽命	穩态瞬态熒光光譜	FLS1000
電(dian)壓/反向漏電(dian)流/輻射效率/光功率/波(bo)長(zhang)/半波(bo)寬/飽咊(he)數(shu)據	紫外LED模組輻射測(ce)試係(xi)統	PCE-2000UV
抗靜電(dian)能(néng)力(li)測(ce)試（ESD）	靜電(dian)放電(dian)測(ce)試儀	ZY920
LED老化測(ce)試	恒溫恒濕老化試驗(yàn)機(jī)	NK-RT-2-4005A
缺陷檢(jian)測(ce)/空洞率測(ce)試	微焦點X射線(xiàn)檢(jian)測(ce)係(xi)統	Phoenix X丨aminer
晶圓片方(fang)阻測(ce)試	無損方(fang)阻測(ce)試	LEI-1510EB