檢測項目
| 項目名(míng)稱 | 檢測設備 | 設備型号 |
| 深度濃度分(fēn)析 |
二次離子質(zhì)譜儀
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IMS 7f-Auto |
| AFM形貌/表面粗糙度 | 原子力顯微鏡 | Dimension EDGE |
| 多(duō)晶粉末物(wù)相定性分(fēn)析 | X 射線(xiàn)衍射儀 |
SmartLab3KW（HRXRD）
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| 薄膜掠入射 | ||
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高分(fēn)辨标準2θ/ω掃描 |
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搖擺曲線(xiàn)掃描 |
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反射率測試 |
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倒易空間 |
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PHI掃描 |
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極圖 |
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拉曼光譜 |
顯微拉曼光譜儀 |
RMS 1000 |
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原位拉曼（77-500K） |
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微區(qū)mapping |
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噴金 |
冷場掃描電(diàn)子顯微鏡 |
Regulus8230 |
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表面形貌 |
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表面元素分(fēn)析 |
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陰極熒光圖譜/微區(qū)Mapping |
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室溫：電(diàn)阻率/霍爾遷移率/載流子濃度/霍爾系數 |
霍爾測試儀 |
HS-65-AEM |
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低溫（77K）：電(diàn)阻率/霍爾遷移率/載流子濃度/霍爾系數 |
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變溫（3-300K）熒光圖譜 |
深紫外變溫光譜 檢測系統 |
HRS-500MS |
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液體(tǐ)/粉末/薄膜樣品：吸光度/反射率/透射率 |
分(fēn)光光度計 （紫外可(kě)見近紅外） |
UH4150 |
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穩态熒光：發射譜/激發譜/同步熒光/三維熒光 |
穩态瞬态熒光光譜 |
FLS1000 |
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瞬态光譜：熒光壽命 |
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電(diàn)壓/反向漏電(diàn)流/輻射效率/光功率/波長(cháng)/半波寬/飽和數據 |
紫外LED模組輻射 測試系統 |
PCE-2000UV |
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抗靜電(diàn)能(néng)力測試（ESD） |
靜電(diàn)放電(diàn)測試儀 |
ZY920 |
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LED老化測試 |
恒溫恒濕老化試驗機 |
NK-RT-2-4005A |
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缺陷檢測/空洞率測試 |
微焦點X射線(xiàn)檢測系統 |
Phoenix X丨aminer |
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晶圓片方阻測試 |
無損方阻測試 |
LEI-1510EB |
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